复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A。
无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。
气流是控制洁净度与温湿度的主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速测量，都是放在无尘室测试的步。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件，且其布料为不燃、不起毛，其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质，另外经过摩擦不产生静电或带电性非常，洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。在某些场合可能因现场的限制，室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。
无尘室内防止微粒子污染的基本原则：
不发生
在控制大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策：
减少接触剥离发尘的动作形态；
采用磨耗发尘小的材质；
采用发尘小的润滑油；
机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
